欧美成人黄色网_欧美精品久久_国产在线一区二区三区_免费视频久久久_亚洲二区视频_欧美大片免费高清观看

產(chǎn)品分類

當前位置: 首頁 >

類型分類:
科普知識
數(shù)據(jù)分類:

高精半導體芯片激光切割控制系統(tǒng)

發(fā)布日期:2022-04-27 點擊率:70

  • 關鍵詞: 激光切割控制系統(tǒng)
  • 摘要:半導體芯片切割控制精度要求非常高,目前國內(nèi)基本上用的都是進口設備。此為我公司為某半導體廠家開發(fā)的設備。

1、系統(tǒng)選型

(1)慣量計算

X軸負載慣量:Jx=Mx(P /2π)2

              = 20.2×(0.005/2×3.14)

              = 0.128×10-4 kgm2

Y軸負載慣量:Jy=My(P/2π)2

              =2.9×(0.005/2×3.14)2

                       = 0.0184×10-4 kgm2

滾珠絲杠:  J2 = πρLBDB4/32

              = 0.405×10-4 kgm2

X軸電機負載慣量: JLX = Jx  J2=0.533×10-4 kgm2

Y軸電機負載慣量: JLY= Jy  J2=0.4234×10-4 kgm2

400w電機慣量:Jm4= 0.26×10-4 kgm2

750w電機慣量:Jm7=0.87×10-4 kgm2

(2)扭矩計算

由于需要的行程速度是100mm/s到150mm/s,這次速度將以250mm/s=15m/min來計算。

電機轉(zhuǎn)速:NL = VL/P=15/0.005 = 3000(min-1)

              = 3000 × 2π / 60=314 rad

加速度:a  = NL/t =3140 rad/s2

X軸負載轉(zhuǎn)矩:TLX=μMgP / 2πη

             =0.2×20.2×9.8×0.005/2×3.14×0.9=0.035 Nm

Y軸負載轉(zhuǎn)矩:TLY=μMgP / 2πη

             =0.2×2.9×9.8×0.005/2×3.14×0.9=0.00304 Nm

X軸啟動轉(zhuǎn)矩:Tpx = (JLX +  Jm7)●a +TLX

= 0.441   0.035 = 0.476 Nm

Y軸啟動轉(zhuǎn)矩:Tpy = (JLY + Jm4)●a +TLY

= 0.215    0.00304 = 0.218 Nm

X軸制動轉(zhuǎn)矩:Tsx =  (JLX +Jm7)●a +- TL

                       =0.441-0.035=0.406Nm

Y軸制動轉(zhuǎn)矩:Tsy =  (JLY + Jm4)●a + - TL

=  0.215 - 0.00304 = 0.212 Nm

通過以上的計算選用的是松下MHMD400w和MSMD750w的交流伺服電機,該型號輸出慣量適合,運行更平穩(wěn)。X軸用的是750w的伺服系統(tǒng),額定扭矩為2.4Nm;而Y軸用400w的伺服系統(tǒng),額定扭矩為1.3Nm;這兩款的額定轉(zhuǎn)速都為3000rps;所選伺服的慣量及扭矩都能使載體平穩(wěn)的運行。

(3)盤式電機選型

由于在盤式伺服上要放的是一個鋁制的圓盤,圓盤規(guī)格(R=150mm  M=1kg  實心):

圓盤慣量J=1/2×M×(D/2)2=1/2×1×(150/2)2=0.0028125 kgm2

扭矩T=角加速度a×慣量J  

圓盤轉(zhuǎn)π/2需要的時間是4s,平均角速度V=π/2+4=0.3925rad/s

則:角加速度=角速度V/加速時間t=0.3925×0.01=39.25rad/s2

則:扭矩T=39.25×0.0028125=0.1104Nm    

由于慣量要匹配,盤式伺服承受物體的慣量和盤式伺服自身的慣量的比例在1:10之內(nèi)是最理 想的,所以所選的盤式伺服ND110-50F自身的慣量是0.00034 kgm2、額定扭矩是2.4Nm最大扭矩是7.2Nm、回轉(zhuǎn)速度是5rps、分辨率是720000 ppr。該盤式伺服的定位精度是±90s,重復定位精度是±18s,外加絕對值選項定位精度可達±15s、重復定位精度±1.8s。360度=1296000s,圓盤周長 L=πR=3.14×150=471000um,則角度1s=0.363um弧長,所以當定位精度為15s時圓盤的弧長精度可達到5.445um。

1.1實現(xiàn)功能

1、原點復歸

2、激光功率檢測

3、芯片切割

1.2系統(tǒng)設計


 機構(gòu)運動部分由精密直線位移平臺,交流伺服電機,盤式伺服電機,直線光柵,伺服驅(qū)動器 及極限保護傳感器組成。

如圖1-1所示, 精密直線位移平臺,盤式伺服電機均以行程中心為中點對中安裝。X軸配 備750w交流伺服電機及直線光柵,Y軸配備400w交流伺服電機,XY軸兩側(cè)各安裝2個極限保護傳感器(行程開關或光藕)。

 1.3設備圖片

 2 控制過程

 芯片切割

選擇所要切割芯片的型號,以安全門關閉為觸發(fā)信號,真空閥打開,工作臺中心由(0,-90,0)處移動至(0,0,0)處,手動X Y軸使監(jiān)視器十字線對準芯片切割區(qū)域中心,按ON鍵工作臺移動至(0,-45,0)處,手動A軸旋轉(zhuǎn)校直芯片,按ON鍵工作臺移動至(0,45,0)處再次校直芯片,如此反復直至芯片校直。長按ON鍵使工作臺回到(0,0,0)點處,手動X Y軸使監(jiān)視器十字線對準芯片切割區(qū)域中心,長按ON鍵切割程序啟動,氮氣閥和排風電機開啟。

圖2-1因芯片尺寸為4英寸,設定程序外圓為4.3英寸(110mm),工作臺由中心移動至外圓時,激光R-shutter關閉,由外圓開始切割時,激光R-shutter開啟。

切割過程中可按OFF鍵暫停程序,手動調(diào)整X Y A軸位置,調(diào)整期間R-shutter關閉,按ON鍵程序啟動,R-shutter開啟,繼續(xù)切割。

切好一面后,工作臺旋轉(zhuǎn)90?,繼續(xù)切割。

 

整張芯片切割結(jié)束后, 激光器R-shutter,氮氣閥,真空閥及排風電機均關閉,工作臺返回至(0,-90,0)處,安全門打開,工作流程結(jié)束。

3 操作界面

4 結(jié)束語

由于半導體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,需要制造高集成、高性能的半導體晶圓,推動了晶圓激光切割技術的發(fā)展。半導體的切割精度直接影響到芯片的成本、質(zhì)量以及各種性能,當前國內(nèi)的半導體芯片激光切割機主要由外國壟斷。

北京阿沃德自動化設備有限責任公司憑借自己在運動控制行業(yè)的多年的設備制造技術經(jīng)驗和高性能的產(chǎn)品,為客戶研發(fā)定制的控制系統(tǒng)和設備通過反復芯片校直,使得定位準確,切割精度高,控制靈活,完全可替代進口設備,得到用戶好評。

下一篇: PLC、DCS、FCS三大控

上一篇: 索爾維全系列Solef?PV

推薦產(chǎn)品

更多
主站蜘蛛池模板: 免费的一级毛片 | 久久精品3| 无码精品人妻一区二区三区免费看 | 又色又爽又黄还免费毛片96下载 | 亚洲a∨无码男人的天堂 | 亚洲中文字幕无码av | 久久精品国产av一区二区三区 | 2021国产成人精品久久 | 欧洲无码一区二区三区在线观看 | 久久99精品国产麻豆蜜芽 | 国产成人亚洲综合一区 | 97国产精品视频 | 色噜噜亚洲精品中文字幕 | 婷婷综合视频 | 国产精品2| 麻豆黄色仓库 | 中文天堂在线最新2022更新 | 麻豆人妻无码性色av专区 | 国产精品国产三级国产av中文 | 无码人妻h动漫中文字幕 | 色噜噜狠狠狠狠色综合久一 | 老鸭窝 国产 精品 91 | 777精品出轨人妻国产 | 女人高潮内射99精品 | 人妻大战黑人白浆狂泄 | 亚州第一视频 | 欧美综合自拍亚洲综合网 | 伊人久久久精品区aaa片 | 大胸少妇午夜三级 | 婷婷夜色 | 在线播放亚洲美女视频网站 | 亚洲性久久 | 亚洲狠狠狠一区二区三区 | 精品国产免费人成在线观看 | 亚洲一区 中文字幕 | 亚洲av久久久噜噜噜熟女软件 | 久久精品在线免费观看 | 久99re视频9在线观看 | 6699嫩草久久久精品影院 | 国产丝袜一区视频在线观看 | 日韩精品一区二区三区免费观看 |