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　　引 言：

　　隨 著大功率激光器技術的發(fā)展，激光與材料相互作用研究的深入，激光加工已經成為加工領域中的一種常用技術。近年來，皮秒激光器在各種材料的微加工中獲得越來 越多的應用。微加工通常針對的是微米級別的加工需求，如金屬表面處理，同時還要避免對周邊材料造成熱損傷。微加工的目的就是獲得精細、干凈的切口，而且熱 影響區(qū)（HAZ）最小。皮秒脈沖激光器的脈沖寬度之短、足以避免能量發(fā)生熱擴散并達到這些消融臨界過程所需要的峰值能量密度，因此在該加工應用領域具有眾多優(yōu)勢。SPARK LASERS 紅外皮秒激光器基于其超短脈沖、高功率、高脈沖能量等優(yōu)勢，在材料微加工領域有著廣泛的應用。

　　1. 議題

　　可行性實驗的主要目的是使用皮秒激光器通過絕緣膜（陶瓷）清晰劃線，顯示不銹鋼的一些規(guī)格：

　　干凈、選擇性清除

　　膜涂層無熱影響區(qū)域

　　激光對不銹鋼無損傷

　　我們需要實現(xiàn)膜上凹槽不同寬度（50、200和1000um）。以最好的工藝參數(shù)，我們處理特定的包含3個凹槽的刻線模式，長度100mm；相鄰間隔6mm、依次翻倍即12mm、24mm。3個凹槽組成的每組之間間隔為10 mm。

　　2. 技術選擇

　　如下為選用的激光器的主要特點：

　　3. 可行性試驗

　　為了確定最好的加工窗口用于不銹鋼上膜的移除，我們改變不同的實驗參數(shù)如下：

　　" 脈沖能量

　　" 平均功率

　　" 重復頻率

　　" 掃描速度

　　" 迭代次數(shù)

　　使用低重復頻率（25 kHz）減少基質上的熱積累，因此可獲得更好質量的凹槽（無熱影響區(qū)、毛糙…….）

　　4. 度量

　　陶瓷樣品

　　50 um槽寬：