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如今，用于測量中等壓力（0．1～10 MPa）的MEMS傳感器已經(jīng)相當(dāng)成熟，并且已經(jīng)實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。工作壓力低于0．1 MPa者卻不多見，遠(yuǎn)不能滿足小量程壓力測量需求。

小量程壓力測量主要應(yīng)用于大氣壓力測量和生物體內(nèi)部的壓力測量。氣壓測量在氣象、航空、實驗室等條件中運用頻繁。在氣象學(xué)領(lǐng)域里，壓力數(shù)據(jù)是估算大氣中水汽含量不可或缺的參數(shù)。

又如，根據(jù)氣壓值隨海拔高度線性降低的關(guān)系可以實時獲取航天器飛行時的高度位置信息。這些應(yīng)用領(lǐng)域的氣壓值均在一個大氣壓（0．1 MPa）以下，而且需要傳感器便攜式和集成化。在臨床醫(yī)療過程中，實時、準(zhǔn)確地監(jiān)測人體各種壓力指標(biāo)的變化能對診斷和治療起到非常積極的作用。

這些被測壓力都比較小，青光眼的眼壓范圍在10～100 kPa之間，人類與外部接觸所產(chǎn)生的壓力大約在0～220 kPa之間。除此之外，傳感器還需要植入生物體中，所以體積要微小并能進(jìn)行非接觸式測量。因此，小量程MEMS壓力傳感器應(yīng)用前景廣泛，對其研究具有重要意義。

由于作用壓力小，靈敏度成為了制約小量程MEMS壓力傳感器發(fā)展和應(yīng)用的難點。通常，靈敏度的提高會導(dǎo)致線性度的降低，反之亦然。要成功研制出小量程壓力傳感器，必須首先解決小量程高靈敏度輸出與超薄力敏膜片大撓度引起的非線性誤差之間的矛盾。

MEMS壓力傳感器多種多樣，與其他類型的傳感器相比，電容式壓力傳感器不僅結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)特性好、溫度漂移小，而且能夠進(jìn)行非接觸式的無線無源測量。

特別地，電容式傳感器還可以承受更高的滿量程過載，這點對于小量程測試應(yīng)用也是十分重要的，因為相對高的壓力載荷經(jīng)常會出現(xiàn)在小量程壓力檢測過程中。通過上述分析可知，電容式壓力傳感器很適合用于小量程壓力測量。