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真空泵

真空泵使用要點(diǎn)

發(fā)布日期:2022-10-09 點(diǎn)擊率:65

  真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
  真空泵使用要點(diǎn)
  1.真空泵用于抽潔凈氣體,不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學(xué)品、溶劑及粉末等。如易燃?xì)怏w、含國(guó)家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
  2.進(jìn)氣溫度必須低于50℃,否則在被抽真空室與泵進(jìn)氣口之間必須加冷阱,降溫至低于50℃。
  3.抽含有水蒸汽的氣體時(shí),要打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥抽氣,被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過(guò)此極限,將會(huì)縮短氣鎮(zhèn)閥壽命。
  4.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環(huán)境中工作,否則會(huì)有爆炸、火災(zāi)等危險(xiǎn)。
  5.不要由一兩個(gè)人移動(dòng)此泵。此由人員搬運(yùn)、安裝、配置、配線、操作、維護(hù)和檢查,否則會(huì)有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險(xiǎn)。
  6.不要繼續(xù)使用已經(jīng)損壞的泵,否則會(huì)有受傷、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險(xiǎn)。
  7.檢查確定此泵安全接地。
  8.此泵工作過(guò)程中或剛停機(jī)時(shí)不要接觸泵電機(jī)或金屬部件(因?yàn)楣ぷ鲿r(shí)很熱,可能達(dá)到70℃)。如確實(shí)需要接觸,采取必要防護(hù)措施防止受傷。
  9.必須安裝電機(jī)保護(hù)開(kāi)關(guān)
  10.不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭,以免損壞法蘭口,導(dǎo)致真空度上不去。
  11.在進(jìn)氣口處裝截止閥。真空泵停止后進(jìn)氣口處真空度降低,是因?yàn)榕艢饪谔幍拇髿夥抵吝M(jìn)氣口處,不是真空泵的原因。如要保證真空室內(nèi)的真空度,要在真空室與泵之間安裝截止閥。
  12.排氣口處要接排氣管,以防灰塵進(jìn)入泵內(nèi)。

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