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    真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類;

    包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

    電控柜操作

    1.開水泵、氣源。

    2.開總電源。

    3.開維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

    4.開機(jī)械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計(jì)開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

    5.觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。

    機(jī)器操作

    1.總電源。

    2.同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：

    按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān)，延時、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會常亮。

    3.開高壓，高壓會達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。

    關(guān)機(jī)順序

    1.關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。

    2.待分子泵顯示到50時，依次關(guān)高閥、前級、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。

    3.到50以下時，再關(guān)維持泵。