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科普知識
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未分類產(chǎn)品

真空鍍膜機(jī)的操作是怎樣的?

發(fā)布日期:2022-05-29 點(diǎn)擊率:21

    真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類;


    包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。


    電控柜操作


    1.開水泵、氣源。


    2.開總電源


    3.開維持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。


    4.開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計(jì)開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。


    5.觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。


    機(jī)器操作


    1.總電源。


    2.同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:


    按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān),延時、電源及保護(hù)燈亮,三分鐘后延時及保護(hù)燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護(hù)燈會常亮。


    3.開高壓,高壓會達(dá)到10KV以上,調(diào)節(jié)束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。


    關(guān)機(jī)順序


    1.關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。


    2.待分子泵顯示到50時,依次關(guān)高閥、前級、機(jī)械泵,這期間約需40分鐘。


    3.到50以下時,再關(guān)維持泵。

 

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