渦輪分子泵是高或超高真空泵，主要由轉子和定子兩個部分組成。
一個旋轉的轉子盤和一個靜止的定子盤組成了一個泵級，泵級產(chǎn)生一個特定的壓縮比。
通過連續(xù)開啟增加壓縮效果的多個泵級，可以獲得高達1013的壓縮比。
例如，現(xiàn)代真空泵在后側使用霍爾維克級(Holweck)，減少了渦輪級的數(shù)量而不影響壓縮效果。
與此同時，一些生產(chǎn)商可能將允許的前級管道壓力增加至30hPa以上；
極大減小了前級泵的尺寸，并可首次使用隔膜泵。
無額外壓縮級的渦輪泵可用于易凝結、升華以及形成顆粒的過程，因為狹窄的縫隙可導致沉積、機械損傷或堵塞。
1、前級真空壓力
對于帶有額外壓縮級的渦輪分子泵，其前真空壓力可以上升至30hPa以上。
對于帶有純渦輪級的分子泵，*大前真空壓力為2-3hPa；
但是這取決于抽送氣體的種類，如氮氣為2hPa，氫氣為0.5hPa。
由于泵的過熱，超過生產(chǎn)商指定的*大壓力會導致軸承受損，情況嚴重的甚至會導致徹底失效。
氣體摩擦上升過高，且額外產(chǎn)生的壓縮熱無法消散。
對于軸承和轉子溫度未受監(jiān)測的泵，這尤其重要，且在很多情況下，是不可避免的。
通過使用*終壓力為2-5hPa的隔膜泵，操作員就可這帶動設備的運行。
除了隔膜泵，干式泵沒有任何出口閥門。如果前級泵發(fā)生故障，將從前級側對處理室進行排氣；
而且，如果由此導致渦輪分子泵速度的下降并沒有因前級壓力的快速上升而引發(fā)自動排氣過程。
由于外殼中所謂的直升飛機效應，大型處理室的突然排氣會導致渦輪分子泵轉子受損。
為保護渦輪分子泵不受損傷，生產(chǎn)商還提供了一個安全閥；
在前級泵或前級真空失效的情況下，安全閥就會立即關閉處理室的排氣裝置。
關閉時間必須相對較短。如可進行前級壓力測量，被認為可利用壓力上升或前級泵故障信號來對安全閥進行控制和操作。
2、標注排氣管道的尺寸
建議至少按照泵的標稱尺寸安裝排氣管道和閥門，因為不佳流導值會導致抽速顯著下降。
以下是稍加夸大的，以說明在直徑為25mm、長度為100mm的進氣管內電導值損失所造成的影響。
渦輪分子泵有效抽速與標稱抽速：
60l/s：10l/s
5000l/s：14l/s
由此可以看出，80倍大的渦輪分子泵僅能產(chǎn)生40%以上的抽速。
3、高真空和前真空連接
如果分子泵的高真空法蘭連接至接受器，則有必要讓前級管道更為靈活。
如果前級管道為固定連接，則泵殼受熱后無法膨脹，導致不當?shù)牟牧蠎Α?/p>
在該固定連接中，轉子無法自由移動，且遺留下來的細微不平衡隨著時間的推移會造成軸承故障，并會導致轉子受損。
保持渦輪分子泵平衡性可以確保低振動運轉和*佳的軸承耐用性。
在正常啟動過程中，根據(jù)轉子動力學，他們通過某種特定的共振頻率。
如果這些共振頻率夠刺激真空室、框架或整個系統(tǒng)的固有頻率；
他們就可以促進頻率振幅的顯著提升;在這種頻率下，泵開始劇烈振動并發(fā)出非常大的聲音。
頻繁在這些共振頻率區(qū)域運行會導致轉子受損，且可能會導致設備或內置振動敏感元件損壞。
即便是帶有磁軸承的渦輪分子泵也不例外。
因此，*好確定系統(tǒng)的固有頻率，并就相關數(shù)值向制造商進行咨詢。
通過加固、增加額外重量或變換設計方案等可以避免振動的發(fā)生。
4、安全連接高真空法蘭/真空室
渦輪分子泵，尤其是抽速在1000l/s以上、帶有磁軸承和鐘形轉子的較大渦輪分子泵；
在額定轉速下具有較高的扭矩，在轉子碰撞時，速度會以毫秒為單位降級。
如果真空室布局不當且渦輪分子泵直接安裝在其上時，則會發(fā)生真空室變形的情況；
情況*嚴重時還會造成渦輪分子泵扭曲，甚至會與真空室法蘭脫離。
近年來，主要受到半導體工業(yè)的驅動，泵制造商已經(jīng)通過碰撞實驗和控制分析對泵殼和入口法蘭上的力矩和受力進行了確定和測試。
實驗發(fā)現(xiàn)，連接到真空室的法蘭原則上應該按ISO-F執(zhí)行。
通過長圓孔及使用ISO-CF與固定螺釘，防止帶ISO-F法蘭的泵發(fā)生轉動。
泵生產(chǎn)商會提供所謂的安裝套件，其中包含所需材料等級足夠數(shù)量的夾子和固定螺釘以及合適的定心環(huán)。
只有這樣才能卻能確保在碰撞時連接保持完好、密封。
