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    電容位移傳感器工作原理以電容器為敏感元件，將機械位移量轉換為電容量變化的傳感器稱為電容式傳感器。電容傳感器的形式很多，常使用變極距式電容傳感器和變面式電容傳感器進行位移測量。(1).變極距式電容傳感器一個電極板固定不變，稱為固定極板，另一極板間距離d響應變化，從而引起電容量的變化。因此，只要測出電容量的變化量⊿ C，便可測得極板間
    靜態位移測量
    1.頻率校準
    接好聯線，將電極板擰入傳感器探頭頭部，并使之遠離物體，按下“校準”鍵，這時有電壓輸出，預熱20分鐘，調節“調零”旋扭，使輸出回到零點。
    2.安裝傳感器，調整初始間隙，進行測量
    按下測量鍵，將傳感器借助彈性夾套安裝到磁表座（或用戶自制專用夾具）上，使測量電極板端面接近被測物體的表面，平面或圓柱面，盡可能平行，球面盡可能對中，調整的初始間隙見表1（參考值），調整時有“+”電壓輸出，反時針轉動傳感器微調螺母，使測量間隙逐漸增大，輸出電壓會逐漸接近零點，借助“調零”旋扭細調，使輸出為0，調整時有“—”電壓輸出，順時針轉動微調螺母，使測量間隙逐漸減小，輸出電壓會逐漸接近零點，測量即可開始。測量時，被測物體表面接近傳感器，測量間隙減小，表示被測尺寸增加，輸出為“+”電壓，反之輸出為“—”電壓，儀器輸出的“+、—”電壓就是相對應量程的靜態位移。
    3.與通用儀表連接
    儀器兩種量程的滿量程電壓輸出都是0—±5.0V（線性區），可與各種高輸入阻抗儀表（計算機、、FFT波形分析處理等）聯接。
    振動測量
    儀器測量振動位移時，其方法基本同靜態位移測量相似，其中初始間隙的調整可在被測物體啟動前進行，也可在啟動后進行，被測物體啟動后，儀器輸出有直流電壓和交流電壓。直流電壓是物體啟動后的浮動位移，屬靜態位移；交流電壓是物體啟動后的相對應量程的振動位移。直流電壓分量與交流電壓分量無關。如果直流電壓遠離零點，應轉動傳感器微調螺母，使輸出回到零點附近，以保證振動測量有滿量程的線性工作范圍。