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    ESD放電造成微電子電路損傷的模式金屬布線與擴(kuò)散區(qū)(或多晶)接觸孔產(chǎn)生火花，使金屬和硅的歐姆接觸被破壞。

    使節(jié)點(diǎn)的溫度超過(guò)半導(dǎo)體硅的熔點(diǎn)(1415℃)時(shí),使硅熔解，產(chǎn)生再結(jié)晶，造成器件短路。

    金屬化電極和布線熔解、球化，造成電路開(kāi)路。

    大電流流過(guò)PN結(jié)產(chǎn)生焦耳熱，使結(jié)溫升高，形成熱斑或熱奔；

    導(dǎo)致器件損壞靜電放電引發(fā)的瞬時(shí)大電流(靜電火花)引燃引爆易燃、易爆氣體混合物或電火工品，造成意外燃燒、爆炸事故。

    靜電放電使人體遭受電擊引發(fā)操作失誤造成二次事故、靜電場(chǎng)的庫(kù)侖力作用使紡織、印刷、塑料包裝等自動(dòng)化生產(chǎn)線受阻。

    第三類靜電危害是由于靜電放電的電磁輻射或靜電放電電磁脈沖對(duì)電子設(shè)備造成的電磁干擾引發(fā)的各種事故。

    一般說(shuō)來(lái)，靜電放電都是在微秒或鈉秒量級(jí)完成的，因此這一過(guò)程是一種絕熱過(guò)程；

    放電瞬間通過(guò)回路的大電流，形成局部的高溫?zé)嵩础?/p>

    對(duì)微電子器件而言，其靜電放電能量通過(guò)器件集中釋放，其平均功率可達(dá)幾千瓦；

    熱量很難從功率耗散面向外擴(kuò)散，因而在器件內(nèi)形成大的溫度梯度，造成局部熱損傷，電路性能變壞或失效。

標(biāo)簽:                                    半導(dǎo)體