不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。
高真空一側的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。
選用原則
（1）真空泵的結構：抽腐蝕性氣體，必須要求真空泵用耐腐蝕材料或襯耐腐蝕材料制成。抽與油起作用的氣體，不能選擇使用潤滑油的真空泵。
（2）滿足工藝要求：如減壓塔頂不凝氣體的量很大，必須選用蒸汽噴射真空泵，因為它具有真空度高，結構簡單，操作方便等特點，在減壓塔內(nèi)造成很高真空，有利于在減壓下分餾，保證了產(chǎn)品質量。
?。?）足夠的抽氣速率：在允許的時間內(nèi)，能把需要抽走的氣體抽出，才能保證生產(chǎn)的正常進行。
?。?）工作時間：連續(xù)工作時間能保證一個工藝循環(huán)的基本要求，不能因為連續(xù)工作時間短而影響生產(chǎn)。
真空泵的主要參數(shù)
（1）抽氣速率：真空泵的抽氣速率也叫生產(chǎn)能力，在一定溫度下，真空泵在單位時間內(nèi)能從設備內(nèi)抽走氣體的體積，單位m3/s或m3/h表示。
（2）殘余壓力：也叫極限真空即真空泵能達到穩(wěn)定狀態(tài)下的zui低壓力，單位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
?。?）抽氣量：在一定溫度下，真空泵在單位時間內(nèi)能從設備內(nèi)抽走指定氣體量叫抽氣量，單位m3/h。
?。?）起動壓力：真空泵開始工作時的壓力。
真空泵的特點
1、真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，極限真空均可達到1-2Pa，珂勒曦的干式螺桿真空泵極限真空已突破0.1Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空度低，需要搭配羅茨等其他真空泵提高極限真空。
2、抽氣量：無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。
3、穩(wěn)定性：干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低；無油往復真空泵結構簡單，噪音較高，需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜，轉子與軸不為一體，出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配，反復裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。
4、特殊工況處理：由于化工、制藥、半導體行業(yè)等相關工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結構簡單，兩根轉子、泵腔均可做防腐處理，常見的有鎳磷涂層和特氟龍涂層，珂勒曦干式螺桿真空泵采用則是特殊的多層鍍鎳和納米材料鍍層，有效防止鹽酸等高腐蝕性介質對設備的侵蝕。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。
在某些中真空應用中，需要進入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實現(xiàn)，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數(shù)量級而進入10-1Pa，所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速，所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。
一般地講，長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。而長時間工作在中真空高端壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少，因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽速。
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