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　　嚴格講能譜儀（EDS）準確定量應該用點分析方法，但對斷口，腐蝕產(chǎn)物，粉體等不平試樣，一般是不符合試樣表面平、電子束垂直人射的EDS點定量分析條件，但在許多實際分析中，面掃描定量分析結果也非常有價值。實踐證明，面掃描定量分析結果可以解釋許多實際問題和科學問題。為了提高分析準確度，在可能的分析條件下，掃描分析范圍應盡量小，因為電子束掃描范圍越小，電子束越接近于垂直入射。
　　電子束掃描分析范圍由放大倍率確定。放大倍率M是掃描顯示（CRT）的線性尺度（L）與試樣上掃描范圍的相應長度(l)之比：M=L/l。當用SEM照相的顯示屏顯示時，顯示屏的線性尺度（寬度）L為100mm，在試樣上的掃描范圍：l=L/M=100mm（CRT）/M
　　例如，當SEM放大倍率M為20倍時，在試樣上的掃描范圍為5mm。放大倍率為1000倍時，分析范圍為100μm。如果放大圖像用大顯示屏觀察時，式中的L用大顯示屏的線性尺度（寬度）替代。表（放大倍率與分析范圍）為L=100mm時，常用的放大倍率的電子束在試樣上的分析范圍值。

　　第二張圖為放大十萬倍的納米氧化鋯的二次電子像，整個圖像的范圍只有約1pm。如果在十萬倍進行掃描定量分析，成分分析范圍只有1μm，相當于定點分析。盡管圖氧化鋯試樣的表面不平，但因為高放大倍率電子束掃描范圍小，仍可用高倍掃描的方法獲得較好的成分定量結果。對低倍掃描定量分析，由于電子束掃描范圍大，與電子束垂直入射條件相差較遠，會影響定量結果的準確度。

標簽:                                    能譜儀