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發(fā)布日期:2022-10-03 點擊率:94
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。
5D/6D標準型:
1. 線性:0.5ppm .
2. 測量范圍:40米(1D可選80米)
3. 線性分辨力:0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5. 范圍:800角秒
6. 滾動角精度:1.0角秒
7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8. 直線度范圍:500um
9. 垂直度精度:1角秒
10. 溫度精度:0.2攝氏度
11.濕度精度:5%
12.壓力精度:1mmHg
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