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　圖：角度傳感器系統(tǒng)。
在100℃高溫下亦可以±10秒的絕對精度檢測 

       日本精工開發(fā)出了在100℃的環(huán)境條件下亦可以±10秒的絕對精度檢測的角度傳感器系統(tǒng)。主要用于搬運(yùn)設(shè)備、液晶制造設(shè)備、太陽能電池制造設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備及汽車制造設(shè)備等的角度檢測。 

　　在開發(fā)并采用新的高精度補(bǔ)償（誤差補(bǔ)償）算法的同時，還應(yīng)用該公司生產(chǎn)的DD（直接驅(qū)動）馬達(dá)“Megatorque Motor”上采用的“多極旋轉(zhuǎn)變壓器技術(shù)”，實(shí)現(xiàn)了與光學(xué)方式相同的高絕對精度。多極旋轉(zhuǎn)變壓器方式的特點(diǎn)是不易受振動、溫度及油霧等的影響。通過這些措施，即使在高溫條件下，也可獲得高精度。 

　　盡管是角度傳感器，但通過采用4點(diǎn)接觸的球軸承使其能夠承受直接負(fù)荷，因此比原來更堅(jiān)固、更易操作。另外，通過在軸承內(nèi)側(cè)配備小型旋轉(zhuǎn)變壓器，使高度較原來縮小了一半，只有35mm。旋轉(zhuǎn)速度為600rpm，絕對角度的最小分辨率為0.5秒（262萬等分）。 

　　另外，該公司預(yù)定在2008年12月3～5日舉辦的“SEMICON JAPAN 2008”（幕張Messe會展中心）”上展出此開發(fā)品。