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　　薄膜溫度傳感器是一種新型的測溫傳感器，工作原理與普通熱電阻，熱電偶相同，但它的熱接點(diǎn)厚度一般只有幾微米。薄膜溫度傳感器由于具有體積小、響應(yīng)時間短、靈敏度高、便于集成等特點(diǎn)，適于測量物體隨時間快速變化的溫度。薄膜熱電偶的原理最早是由德國人P.Hackmann于第一次世界大戰(zhàn)期間提出的，并將研制出膜厚只有2um的薄膜熱電偶傳感器用于測量槍膛在子彈射出后的溫度變化腳。其后世界各地許多學(xué)者對薄膜溫度傳感器的結(jié)構(gòu)、制備方法、性能和應(yīng)用前景進(jìn)行了大量研究工作，并取得了令人鼓舞的進(jìn)展，近年來廣泛地應(yīng)用在內(nèi)燃機(jī)活塞頂面、燃燒室壁面和切削刀尖等瞬態(tài)溫度測試中。國內(nèi)西北工業(yè)大學(xué)的李付國，黃呂權(quán)等人研制出新型的薄膜熱電偶溫度傳感器用于測量鍛模工作表面和內(nèi)部瞬態(tài)溫度；西安公路交通大學(xué)的錢蘭等研制出用于內(nèi)燃機(jī)壁面?zhèn)鳠徇^程分析的薄膜溫度傳感器；大連理工大學(xué)精密與特種加工教育部重點(diǎn)實驗室的孫寶元等人研究并制作出用于測量切削溫度的NiCr/NiSi薄膜熱電偶。

　　研制薄膜溫度傳感器的關(guān)鍵是解決鍍膜耐磨、牢固性、抗沖擊和絕緣問題以及膜層間的結(jié)合難度，國內(nèi)外學(xué)者都有對鍍膜工藝做了大量的研究并制作出相應(yīng)的薄膜式傳感器。到目前為止，研究人員研制出的薄膜式溫度傳感器可以某些場合得到很好的應(yīng)用，但其通用性存在不足，并且成本高；同時，受到工藝和材料的限制，傳感器的使用壽命一般都較短。