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磁力泵主要由泵頭、磁力驅(qū)動裝置和其它零部件共三部分組成。泵頭部分主要由葉輪、泵體、軸承、軸套、泵蓋、泵軸等零件組成；磁力驅(qū)動裝置部分主要由內(nèi)磁轉(zhuǎn)子、外磁轉(zhuǎn)子、隔離套等部件組成；其它零部件主要包括托架、底座、電機等。
　　磁力泵的工作原理：
　　當電動機帶動外磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，磁場能穿透空氣隙和非磁性物質(zhì)，帶動與葉輪相連的內(nèi)磁轉(zhuǎn)子作同步旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)動力的無接觸傳遞，將動密封轉(zhuǎn)化為靜密封，達到輸送液體的目的。
　　磁力泵在濕法腐蝕清洗設(shè)備中主要有以下應(yīng)用：
　　（1）藥液的循環(huán)過濾：由磁力泵、循環(huán)溢流槽、過濾器、管件等組成藥液的循環(huán)過濾系統(tǒng)。實現(xiàn)藥液的循環(huán)過濾，保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。由于磁力泵長時間運行會引起藥液一定溫升，因此不適用于溫控精度較高的工藝槽中。常應(yīng)用于太陽能電池片酸洗、制絨、清洗等設(shè)備中。
　　（2）熱水注入與噴淋：經(jīng)過化學液處理后的晶片，有時需要熱DI水噴淋沖洗。一般先將DI水注入至預(yù)熱槽，通過加熱器加熱到所需供液溫度后，再通過磁力泵加壓輸送至噴淋裝置，實現(xiàn)對晶片的清洗。由于磁力泵軸承滑動摩擦會產(chǎn)生顆粒，不適用于顆粒要求高的清洗。