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現(xiàn)如今，隨著科學技術(shù)的進步與發(fā)展，MEMS在投影儀方向的應用也趨于成熟。

投影儀所采用的MEMS微鏡如圖1,圖2所示。其中掃描電鏡圖則是來自于TI的Electrostatically-driven digital mirrors for projection systems。

每個微鏡都由若干錨anchor或鉸鏈hinge支撐，通過改變外部激勵從而控制同一個微鏡的不同錨/鉸鏈的尺寸從而微鏡傾斜特定角度，將入射光線向特定角度反射。

大量微鏡可以形成一個陣列從而進行大面積的反射。錨/鉸鏈的尺寸控制可以通過許多方式實現(xiàn)，一種簡單的方式便是通過加熱使其熱膨脹，當不同想同一個微鏡的不同錨/鉸鏈通入不同電流時，可以使它們產(chǎn)生不同形變，從而向指定角度傾斜。TI采用的是靜電驅(qū)動方式，即通入電來產(chǎn)生靜電力來傾斜微鏡。

圖1 微鏡的SEM示意圖

圖2 微鏡結(jié)構(gòu)示意圖

德州儀器的數(shù)字微鏡器件(DMD)，廣泛應用于商用或教學用投影機單元以及數(shù)字影院中。每16平方微米微鏡使用其與其下的CMOS存儲單元之間的電勢進行靜電致動。灰度圖像是由脈沖寬度調(diào)制的反射鏡的開啟和關(guān)閉狀態(tài)之間產(chǎn)生的。

顏色通過使用三芯片方案(每一基色對應一個芯片)，或通過一個單芯片以及一個色環(huán)或RGB LED光源來加入。采用后者技術(shù)的設(shè)計通過色環(huán)的旋轉(zhuǎn)與DLP芯片同步，以連續(xù)快速的方式顯示每種顏色，讓觀眾看到一個完整光譜的圖像。

TI有一個非常非常具體生動的視頻介紹該產(chǎn)品，你可以在這個視頻中看到整個微鏡陣列如何對光進行不同角度的折射。

圖3 微鏡反射光線示意圖

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