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    真空裝置的極限壓力(極限真空)是該裝置真空室的主要參數(shù)。由于真空裝置的種類(lèi)繁多，故對(duì)極限壓力的叫法亦有不同，例如：真空退火爐稱(chēng)極限壓力為“冷態(tài)真空度”；真空檢漏儀稱(chēng)“本底真空度”；有的空間模擬設(shè)備稱(chēng)“空載極限真空度”等。正因?yàn)檎婵湛萍脊ぷ髡呒胺钦婵掌髽I(yè)或公司對(duì)極限壓力的含義了解得不夠全面，因而在對(duì)真空裝置研制過(guò)程中或使用過(guò)程中帶來(lái)不少麻煩。甚至有的企業(yè)因不懂真空裝置抽氣系統(tǒng)對(duì)極限壓力的概念造成選購(gòu)的真空裝置不能使用。

    何謂極限壓力？從真空系統(tǒng)及有關(guān)術(shù)語(yǔ)中可知極限壓力的定義是：泵在工作時(shí)，空載干燥的真空容器逐漸接近穩(wěn)定的最低壓力，進(jìn)而可得：泵指的是真空系統(tǒng)的主泵，空載干燥的真空容器(即真空室)內(nèi)不放有工作狀態(tài)的元器件，而且真空容器內(nèi)的環(huán)境是干燥的空氣或氣體。它是在主泵經(jīng)過(guò)相當(dāng)時(shí)間的抽氣而使真空容器逐漸接近的穩(wěn)定的最低壓力值。顯而易見(jiàn)，真空系統(tǒng)所達(dá)到的極限壓力是不受時(shí)間限制的。真空裝置的極限壓力越低，標(biāo)志著該裝置的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是合理的，主泵的選擇比較理想，是衡量真空裝置技術(shù)水平是否先進(jìn)的條件之一。在真空科技界，在某些情況下殘余壓力等于極根壓力。而殘余壓力則是經(jīng)過(guò)一定時(shí)間的抽氣之后或真空過(guò)程結(jié)束后還有在于真空容器中的氣體或氣體混合物的氣壓。這是真空科學(xué)工作者在全面理解極限壓力概念和殘余壓力時(shí)應(yīng)注意的問(wèn)題。

    真空室的極限壓力通常總是低于真空抽氣機(jī)組的極限壓力。在抽氣口附近泵有效抽速一定的條件下，真空室的極限壓力正比于真空室的漏氣和出氣。

    如果真空室采用金屬焊接結(jié)構(gòu)形成，根據(jù)我國(guó)現(xiàn)有的氬弧焊工藝水平，單位長(zhǎng)度焊縫漏率，一般取焊縫漏率為1.3×10^-4Pa·L/(s·cm)，此外，還應(yīng)該考慮真空室各密封圈滲漏所引起的總漏率。

    出氣主要指真空室材料表面的出氣量，由真空室內(nèi)表面積和不同材料在常溫下的出氣速率Pa*L/（s*cm）來(lái)決定。

    在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí)，漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來(lái)確定。一般選取低于工作狀態(tài)下氣體負(fù)荷（工藝生產(chǎn)中放出的氣體量）的十分之一。

（慧樸科技,huiputech）