發布日期：2022-07-14 點擊率：65
SII文件進行后處理。例如,物理設計工具通過強化現有特征或增加新特征(被稱為次分辨率輔助特性——SRAF)的手段修改GDSII文件以獲得更好的可印刷能力。它意味著,若工具預計印刷過程會產生某種失真,則工具將自動增加反方向失真,以使兩個失真相互抵消。問題在于,設計中的每個結構都受臨近結構的影響。也即,若GDSII文件生成了兩個幾何形狀并在光掩膜時相互隔絕,則這兩個形狀將以確定方式被打印。但若使同樣這兩個形狀相互靠得很近,則這兩個形狀間的相互干擾通常會以非直觀的方式擅自改變這兩個形狀。這些干擾的結果將導致時序、噪聲和功耗變異并最終影響良率。
圖1:真正的可制造性設計需要適應絕對物理變異。
圖2:當被應用于兩個時序PDF曲線時,具有DFM意識的SSTA必須能解讀靈敏度和臨界態。
作者:Dwayne Burek
設計實現業務部產品總監
Magma Design Automation公司
