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臺(tái)達(dá)電源閃亮成都光刻機(jī)

發(fā)布日期:2022-07-14 點(diǎn)擊率:63

;"> 本文主要描述了臺(tái)達(dá)電源在光刻機(jī)上的良好應(yīng)用。光刻機(jī)由于嚴(yán)格的使用環(huán)境及對(duì)電源性能的特殊要求,使電源的選擇顯得非常慎重。光刻機(jī)在使用臺(tái)達(dá)電源后,完全達(dá)到了設(shè)備的設(shè)計(jì)要求,也將臺(tái)達(dá)電源優(yōu)異功能展現(xiàn)得淋漓盡致。

金屬護(hù)套的單模光纖傳導(dǎo)光束直徑為微米,接近衍射極限(M2<)高質(zhì)量激光束,高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅(qū)動(dòng)單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊發(fā)出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護(hù)套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產(chǎn)生微米波長(zhǎng)的激光,激光在傳輸過(guò)程中不斷被放大后擴(kuò)束輸出。擴(kuò)束后的激光束投射到振鏡掃描器上,通過(guò)計(jì)算機(jī)控制振鏡快速轉(zhuǎn)動(dòng)及激光的開關(guān),使激光束在X、Y方向掃描,通過(guò)F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上,使之表面瞬間燒蝕,最后在件表面形成需要的各種圖形符號(hào)。

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