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阿爾卑斯電氣推出業界最小的壓電式MEMS壓力傳感器

發布日期:2022-07-14 點擊率:46

face="Arial" sty    阿爾卑斯電氣推出了業界最小的壓電式MEMS壓力傳感器。尺寸方面,壓力傳感器單個元件的小型型號為××。內置放大器的型號為××。主要用于檢測氣壓及高度等絕對壓力。 
    壓電式MEMS壓力傳感器可輕松實現小型化的原因是,可直接將隔膜的彎曲量當作壓電電阻元件的電阻變化來捕獲,從而實現簡單的元件結構。另外,通過采用薄膜工藝技術、微細加工技術及封裝技術,也可減小傳感器元件尺寸,使其達到業界最小。 
    壓力檢測的原理如下。來自外部的壓力會使壓力傳感器的隔膜彎曲。如果隔膜彎曲,在隔膜上形成的壓電電阻元件就會變形。這樣一來,就可以將變形產生的電阻變化作為電壓信號讀取出來。 
    阿爾卑斯電氣表示,通過采用以下3項技術,減小了壓力傳感器性能的不穩定性。這3項技術分別為,通過優化蝕刻條件,開發出了可形成穩定腔體(Cavity)結構的技術;實現了可減小外應力影響的Si-Si密封接合;采用了對溫度變化適應性強的陶瓷材料。  
     阿爾卑斯電氣將在08年9月30日~10月4日于幕張Messe國際會展中心舉辦的“CEATEC JAPAN 2008”上展出此次的MEMS壓力傳感器

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