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Therma-Wave公司最近宣布,正式進(jìn)入中國300mm半導(dǎo)體市場。Therma-Wave介紹說,中國一家主要的晶圓加工廠選中了Therma-Probe 300mm離子植入監(jiān)測工具,用于裝備其新設(shè)的300mm晶圓廠。

據(jù)介紹,該客戶還再次訂購了多套Opti-Probe薄摸測量系統(tǒng),用于裝備其設(shè)于上海的200mm晶圓廠。Therma-Wave表示,這筆薄摸訂單表明,它現(xiàn)有的200mm晶圓廠的產(chǎn)能還要進(jìn)一步擴(kuò)大。

隨著新晶圓廠在中國幾個主要城市(如上海、北京、天津、蘇州、成都及深圳)的建造,分析人士認(rèn)為,中國芯片市場總額有望增加兩倍,從2005年的290億美元到2007年的800億美元左右。國際半導(dǎo)體設(shè)備暨材料協(xié)會(SEMI)與日本半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會(SEAJ)的數(shù)據(jù)顯示,2003中國新增半導(dǎo)體設(shè)備的市場總額已經(jīng)達(dá)到11.6億美元。