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惠瑞捷納米電子數字信號測試解決方案有效提升65納米及以下工藝的良率

發布日期:2022-07-14 點擊率:67

半導體測試公司惠瑞捷半導體科技有限公司(Verigy Ltd.)針對65納米和更小工藝所生產之先進數字IC的晶圓測試(Wafer Sort)及終程測試(Final Test),推出可執行結構及功能測試的V93000納米電子數字信號測試解決方案(Nanoelectronics Digital Solution)。納米電子數字信號測試解決方案可提供準確的診斷及參數數據,協助制造商找出新的故障模式(Failure Mechanism),以提高65納米和更小制程的生產良率,這是轉進更小節點的新式工藝時,會面臨的主要挑戰。新設計將能大大受惠于這套解決方案提供的深入信息,且測試的效率極高,能以最低的測試成本(CoT),加快產品的上市時間。

惠瑞捷半導體科技有限公司業務與服務支持副總裁Pascal Ronde表示:“納米電子的時代挑戰了我們對測試在生產流程中扮演之角色的傳統認知。自動化測試設備不再只是一個判定合格/不合格的工具,而是逐漸成為提升大量生產良率的關鍵工具。我們新推出的解決方案可以讓V93000的使用者搜集到測試納米電子所需的準確診斷及參數數據,其多點(Multi-site)的測試效率更樹立了生產力的新標準。”

隨著工藝節點轉進65納米或更小的等級,制造商也面臨新型態故障模式帶來的測試挑戰,例如轉變引起的故障(Transition Fault)和橋接引起的故障(Bridging Fault)、設計流程互動特性、以及晶粒內(Inter-die)和晶粒間(Intra-die)的變異(Variation)等。掃描向量的數量越來越多,加上芯片內壓縮及內建自我測試能力(BIST)等結構的使用更為普遍,更加重了測試的挑戰。除了整合高性能的模擬和直流電路的復雜度之外,尺寸變小、電壓更低和速度更高的要求通常也會一并出現,使得量測的準確度變得更加重要。納米電子一開始的良率較難掌握,因此量測準確度的重要性更甚以往,唯有準確的量測結果,才能拉近測試和設計間的落差,加快良率學習和改善的過程。

惠瑞捷了解擁有合適解決方案的必要性:一方面可提供最充足、深入的信息,同時又能達到最高的生產效率,包括能快速地將數據從測試系統轉出,以進行量產良率的分析診斷。這樣的解決方案可以讓制造商充分利用最新測試方法的優點,例如更多組件的測試能力、減少所需的測試接腳數、以及循環(Loop-back)測試方法,在此同時,也能減少數據搜集量到僅限于最相關的信息。

整合式硬件可提供最快的速度

可插入惠瑞捷V93000測試頭使用的單槽模塊卡每平方公分包含的功能居業界之冠,有助于縮小測試系統的體積和降低成本。V93000納米電子數字信號測試解決方案包含下列以超小型測試頭為基礎的配置:

·Pin Scale 400數字信號量測模塊卡,可將DC IO提高到533 Mbps;

·整合式大量故障數據擷取能力和超快速的數據傳輸速度;

·DC Scale DPS32 - 每片模塊卡內建32個量測通道,可同時測試多個組件的多個功耗域(Power Domain)、以及進行快速的同步觸發,以提高穩定一致性和提供最快的量測速度;

·STIL連結軟件套件;

·每支管腳都整合了TIA。

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