發布日期：2022-04-17 點擊率：75
韓國運動平臺制造商VAD Instrument（以下簡稱VAD）主要為客戶開發定制化的精密運動平臺，當中包括提供給需要在真空環境下工作的制程設備。
真空應用與要求
許多精密工業制程都必須在真空環境下進行，目的是減少任何氣體分子在制程中對加工品的影響。而制程中所涉及到的相關運動控制零組件如導軌，基體等金屬材料，以及電機散熱問題，則需要經過嚴格考慮，并采用兼容真空環境的光柵系統，包括耐高溫、高潔凈度、降低整體氣體量釋出等特殊設計。
半導體真空平臺
ToniC UHV超高真空兼容光柵
目前VAD大部分平臺型號均采用雷尼紹TONiC系列光柵系統，視精度要求配置不同種類的柵尺。
ToniC UHV光柵系統
VAD總裁Song, Baek-Kyun先生說道：“VAD一般平臺型號配置RTLC系列鋼帶柵尺，如果涉及真空應用、像顯示面板AOI檢測設備或半導體制程設備等，我們會配置更高精度的RELM系列柵尺，配置兼容真空的TONiC讀數頭，連接到位于真空腔外的接口。
另外我們開發用于半導體EUV光刻機的膜板檢測設備，由于精度要求達到ppm等級，需要采用雷尼紹高端的RLE系列激光尺定位系統，激光發射頭安裝在XY平臺上，而雷尼紹可以提供性能穩定的激光尺，這在市場上比較少見?！?/p>
真空平臺配置RLE激光尺系統
雷尼紹ToniC UHV超高真空兼容光柵系列，從讀數頭、電纜到柵尺都是必須經過專門設計，真空壓力高達10-10 Torr，讀數頭配置RFI屏敝線纜，其基本工作原理，規格性能與我們在大氣壓下使用的標準型TONiC型號無異。
但是，UHV光柵的讀數頭在設計上消除了氣密孔，并且由高潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成，以避免對加工產品質量造成損壞。
近乎零的熱膨脹系數柵尺
TONiC光柵可搭配多款不同特性的柵尺，并且適合在真空環境應用。Song,Baek-Kyun先生解釋他們選擇柵尺的準則：“我們部分高端機型，采用了雷尼紹RELM系列柵尺，主要看中它近乎零的熱膨脹系數，以確保定位精度在溫差范圍變化大的環境下得以保持，要知道真空腔的溫差可達100 °C。”
雷尼紹RELM是一款20μm柵距柵尺，在1 m長度內精度高達±1 μm，以堅固的雷尼紹專利材料ZeroMet制成，其熱膨脹系數僅為0.75±0.35 μm/m/°C（20 °C時），柵尺可利用背面自帶的不干膠帶進行安裝，同時也支持機械安裝方式以避免不干膠在真空中釋出氣體。
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